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  • Um-1L(1751354863671).jpg
  • Um-1L側(cè)視.jpg

MGDS氣體減壓器Um-1L

進口壓力:250psig 出口壓力:10,30,60,100psig | 材質(zhì):316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-40℃~60℃


產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹  

Um-1L 氣體減壓器,膜片式硬密封結(jié)構(gòu),超低漏率;適用于超高純度氣體,半導(dǎo)體用(毒、腐)氣體,滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。具有卓越的重復(fù)性,穩(wěn)定性,靈敏度和非凡的響應(yīng)階躍功能變化。

主要部件材料 

閥體        316L(VIM+VAR)

膜片        UNS N10276

閥針        316L / UNS N10276

密封墊     PCTFE / PI

手柄        6063

閥蓋        316L 

工作條件

進口壓力             250psig

出口壓力            10,30,60,100psig

原壓變動             0.3psig / 20psig

流量系數(shù)             0.06/0.15HF

工作溫度             -40 ~ 60℃

內(nèi)漏率                ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外漏率                ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度      Ra ≤ 0.1μm

產(chǎn)品特點 

適用于一體化氣體分配系統(tǒng)

每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測

卓越的重復(fù)性,穩(wěn)定性,靈敏度和非凡的響應(yīng)階躍功能變化

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關(guān)鍵詞:

氣體管閥件


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