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產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹 

MGDS 底座為一體化氣體分配系統(tǒng)技術(shù)提供了一種方法,在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng),利用平面密封技術(shù)。每個(gè)表面安裝 組件遵循SEMI標(biāo)準(zhǔn)??筛鶕?jù)需求形成不同的配置形式。維護(hù)時(shí),僅需在面板上方進(jìn)行操作,簡(jiǎn)單方便。

工作條件 

工作壓力              1Mpa

工作溫度              -10 ~ 200℃

外漏率                 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度       Ra ≤ 0.1μm

技術(shù)特征 

漏率測(cè)試      外漏率 5X10-10Pa.m3 /sec.He,符合實(shí)際生產(chǎn)需求。

清潔            10 級(jí)潔凈間超純水清洗。

EP 工藝       內(nèi)部經(jīng)過(guò) EP 工藝處理后,內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm,滿(mǎn)足超高純度氣體系統(tǒng)要求。

安裝            滿(mǎn)足 SEMI 安裝標(biāo)準(zhǔn)。 

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關(guān)鍵詞:

氣體管閥件

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