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Xα-VL 氣體減壓器

進(jìn)口壓力:150psig|出口壓力:-25inHg~0~30psig| 材質(zhì):316L|工作溫度-10℃~60℃


產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹
Xα-VL絕對(duì)壓力氣體減壓器。單級(jí)膜片式設(shè)計(jì);低壓輸入,-25in Hg~0~30psig 小流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于半導(dǎo)體級(jí)高純氣體、毒 性、腐 蝕性、易燃易爆氣體等。
主要部件材料
閥體 316L/316L(VIM+VAR)
膜片 UNS N06022
閥針 316L / UNS N10276
密封墊 PCTFE / PI
手柄 ABS
閥蓋 316L
工作條件
進(jìn)口壓力 150psig
出口壓力 -25in Hg~0~30psig
工作溫度 -10 ~ 60℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系數(shù) 0.09
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點(diǎn)
適用于 GC、VMB&VMP
提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項(xiàng)
每臺(tái)減壓器進(jìn)行單獨(dú)的壓力測(cè)試、功能測(cè)試、氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試和顆粒物檢測(cè)
膜片與閥體之間采用金屬對(duì)金屬密封設(shè)計(jì),密封性能極好

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關(guān)鍵詞:

氣體管閥件


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