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  • Xa-2H(1751420797293).jpg
  • Xa-2H側(cè).jpg

Xα-2H 氣體減壓器

進(jìn)口壓力:3500psig|出口壓力:30、60、100、150psig| 材質(zhì):316L|工作溫度-10℃~60℃


產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹
Xα-2H 氣體減壓器。雙級膜片式結(jié)構(gòu)設(shè)計,硬密封結(jié)構(gòu),內(nèi)部電解拋光處理;高壓輸入,低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于半導(dǎo)體級高純氣體、毒性、腐蝕性、易燃易爆氣體等。
主要部件材料
閥體 316L/316L(VIM+VAR)
膜片 UNS N06022
閥針 316L / UNS N10276
密封墊 PCTFE / PI
手柄 ABS
閥蓋 316L
工作條件
進(jìn)口壓力 3500psig
出口壓力 30,60,100,150psig
原壓變動 0.025psig/100psig    0.075psig/100psig(B2H6/NF3)
工作溫度 -10 ~ 60℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系數(shù) 0.05
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點(diǎn)
適用于特氣柜
提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項(xiàng)
每臺減壓器進(jìn)行單獨(dú)的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測
膜片與閥體之間采用金屬對金屬密封設(shè)計,密封性能極好

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關(guān)鍵詞:

氣體管閥件

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