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  • Ua-HB,1B.jpg
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Uα-1B 氣體減壓器

進(jìn)口壓力:300psig|出口壓力:-25in Hg~0~30psig 30、60、100、150psig| 材質(zhì):316L(VIM+VAR)|工作溫度-10℃~60℃


產(chǎn)品信息

 產(chǎn)品介紹
Uα-1B 氣體減壓器專為超高純氣體,半導(dǎo)體級工藝氣體設(shè)計,滿足超大規(guī)模集成電路的使用要求。
 主要部件材料
閥體 316L(VIM+VAR)
膜片 UNS N06022
閥針 316L(VIM+VAR)/ UNS N10276
密封墊 PCTFE / PI
手柄 ABS
閥蓋 316L
工作條件
進(jìn)口壓力 300psig
出口壓力 -25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig
原壓變動 1.3psig / 100psig
工作溫度 -10 ~ 60℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系數(shù) 1.1
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點
適用于 VMB、VMP
提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項
每臺減壓器進(jìn)行單獨的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測
內(nèi)部無彈簧,內(nèi)部死體積小,減少了顆粒物的存留
束縛膜片結(jié)構(gòu),增加安全性

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關(guān)鍵詞:

氣體管閥件


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