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Uα-1L 氣體減壓器

進口壓力:300psig|出口壓力:-25inHg~0~30psig 30、60、100、150psig| 材質(zhì):316L(VIM+VAR)| 工作溫度-10℃~60℃


產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹
Uα-1L氣體減壓器專為超高純氣體,半導體級工藝氣體設計,滿足超大規(guī)模集成電路的使用要求。
主要部件材料
閥體 316L(VIM+VAR)
膜片 UNS N06022
閥針 316L(VIM+VAR)/ UNS N10276
密封墊 PCTFE / PI
手柄 ABS
閥蓋 316L
工作條件
進口壓力 300psig
出口壓力 -25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig
原壓變動 0.7psig / 100psig
工作溫度 -10 ~ 60℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系數(shù) 0.15
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點
適用于VMB、VMP
提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項
每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測
內(nèi)部無彈簧,內(nèi)部死體 積小,減少了顆粒物的存留
束縛膜片結(jié)構(gòu),增加安全性

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關鍵詞:

氣體管閥件

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