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VG 系列真空發(fā)生器

驅(qū)動氣體壓力: 70 ~ 120psig|可達真空度: -82Kpag|材質(zhì):316L|工作溫度-10℃~60℃


產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹 

VG 系列真空發(fā)生器,在吹掃過程中引入真空,顯著改善吹掃和工藝氣體的稀釋效果。

產(chǎn)品特點

清洗、組裝、測試和包裝在10級潔凈間完成

超純水清洗

內(nèi)部粗糙度 Ra ≤ 0.25µm

外漏率低于 1×10-10Pa.m3 /Sec.He

工作條件

驅(qū)動氣體壓力           70 ~ 120psig

可達真空度              -82Kpag

工作溫度                 -10 ~ 60℃

外漏率                    ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度          Ra ≤ 0.25μm

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氣體管閥件


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